Onze hoge-RTP-apparatuur voor oxidatie bij hoge temperaturen is een essentieel thermisch hulpmiddel voor de grootschalige productie van halfgeleiders-op grote schaal-. De belangrijkste taak is het creëren van schone, dichte SiO₂-films op siliciumsubstraten, perfect voor het maken van CMOS-, IGBT- en MEMS-apparaten. Het wordt veel gebruikt in de productie van halfgeleiders, nieuwe energie-elektronica, hoogwaardige elektronische componenten en zelfs in universiteiten/onderzoekslaboratoria voor R&D en pilotproductie van halfgeleiders.
Hoe u het juiste model kiest
Het kiezen van de juiste komt neer op uw productiebehoeften en -processen.-Hier volgt een eenvoudig overzicht:
1. 12-inch-model
Als u van geavanceerde massaproductie van grote- wafels houdt, dan is dit de oplossing. Hij kan meer dan of gelijk aan 125 wafers per boot verwerken, dus hij is ideaal voor de productie van grote- grote aantallen- kernhalfgeleiderapparaten. Bovendien biedt het nauwkeurige temperatuurregeling (±0,5 graden) en een constante temperatuurzone van groter dan of gelijk aan 850 mm, waardoor een consistente filmdikte (WIW/WTW/RTR kleiner dan of gelijk aan ±2%) voor elke batch wordt gegarandeerd.
2. 8-inch-model
Deze draait helemaal om flexibiliteit. Het werkt met meerdere oxidatiemethoden-droge zuurstof (Si) en natte zuurstof (snelle verdamping/waterbad/HO-ontsteking)-en voldoet dus aan de meeste reguliere massaproductiebehoeften. Qua temperatuur- varieert deze van 600-1150 graden met een regelnauwkeurigheid van minder dan of gelijk aan ±0,5 graden, en de constante temperatuurzone (300-860 mm) levert betrouwbare filmuniformiteit (WIW/WTW kleiner dan of gelijk aan ±2%). Hij is op maat gemaakt voor massaproductie van 8 inch, zodat de efficiëntie op één lijn blijft met de eisen op grote schaal.
Voor wie het is en waar het past
Grote halfgeleiderfabrikanten: Het 12--model is de beste keuze als u CMOS-chips, IGBT-voedingsapparaten en andere kerncomponenten in hoge volumes wilt gebruiken.
Mainstream elektronica/nieuwe energiebedrijven: Het 8--model schittert hier-of je nu auto-elektronica, kernonderdelen voor 5G-communicatie, chips voor consumentenelektronica of vermogenshalfgeleiders maakt, de compatibiliteit met meerdere processen zorgt ervoor dat de productie soepel verloopt.
Universiteiten en onderzoeksinstellingen: Het 8--model is perfect voor het testen van nieuwe halfgeleidermaterialen of het ontwikkelen van geavanceerde prototypen van apparaten. Het past zich gemakkelijk aan verschillende R&D-opstellingen aan, wat een groot pluspunt is voor laboratoriumwerk.
Een korte opmerking over de kwaliteit: we gebruiken professionele materialen en een slim structureel ontwerp voor de kamer, dus de zuiverheid van de film is gegarandeerd-geen ongewenste onzuiverheden die de boel verpesten. En beide modellen blinken uit in stabiele processen, dankzij nauwkeurige temperatuurregeling en consistente filmkwaliteit.
Weet je nog steeds niet zeker welke het beste past? Neem contact met ons op en wij helpen u de juiste apparatuur voor uw workflow te vinden!
