De drie-dimensionale optische profielmeter bereikt precisiemetingen op micrometer- tot nanometerniveau door middel van witlichtinterferentie of confocale technologie, en analyseert de drie-dimensionale morfologie, ruwheid en contouren van vaste materiaaloppervlakken. Dit instrument heeft contactloze meeteigenschappen, waardoor schade aan het gemeten oppervlak wordt vermeden, en is geschikt voor diverse materialen zoals transparant/metaal/hoge reflectie. Op het gebied van mechanische productie, halfgeleiders, ruimtevaart, enz. worden optische 3D-profielmeters veel gebruikt bij kwaliteitscontrole, procesmonitoring en productontwikkeling.
Tegen 2025 zullen reguliere modellen zoals ZeGage Pro en SuperViewW1 zowel seismische prestaties als geautomatiseerde meetmogelijkheden hebben, met een meetnauwkeurigheid van meer dan 0,1 nm. De functies van het instrument omvatten micromorfologieanalyse, krommingsberekening en detectie van dunne-filmkarakteristieken, die voldoen aan de ISO 25178-norm en de kerndetectieapparatuur zijn geworden voor moderne precisieproductie.
